一种基于多孔氧化铝的彩色滤光片的制备方法

摘要

本发明公开了一种基于多孔氧化铝的彩色滤光片的制备方法，包括：通过等效层的方法，设计出与之对应的多孔氧化铝孔径和高折射率氧化物厚度；将洁净的铝箔电解抛光；阳极氧化；在有序排列的多孔氧化铝上通过原子层沉积填充不同厚度的高折射率氧化物；在经原子层沉积的多孔氧化铝上镀一层金属层，即可制备。本发明制备的基于多孔氧化铝的彩色滤光片，与传统的彩色滤光片不同，它利用的是光学干涉的原理，通过在不同的多孔氧化铝孔径中填充不同厚度的高折射率氧化物，使得中间介质层的等效光学厚度发生改变，从而调控不同颜色，制备出不同中心波长的彩色滤光片。本发明方法制备简单，成本低，便于大规模、批量化生产。

主权项

一种基于多孔氧化铝的彩色滤光片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1）对于预期特定中心波长的彩色滤光片，通过等效层的方法，设计出与之对应的多孔氧化铝孔径和高折射率氧化物厚度；2）将洁净的铝箔电解抛光，然后清洗；3）经阳极氧化制备有序排列的多孔氧化铝；4）在有序排列的多孔氧化铝上通过原子层沉积填充不同厚度的高折射率氧化物；5）在经原子层沉积的多孔氧化铝上镀一层金属层，完成彩色滤光片的制备。