高性能全介质干涉多层膜-TCO串联型滤光器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高性能全介质干涉多层膜-TCO串联型滤光器及其制备方法，该滤光器包含：基底；设置在基底第一面上的TCO膜层；设置在TCO膜层上的全介质多层膜；及，设置在基底第二面上减反射膜层；该全介质多层膜由若干层高折射率介质膜与低折射率介质膜交替叠加构成。本发明滤光器的制备方法，全介质多层膜通过薄膜沉积系统制备，TCO滤波器通过薄膜沉积系统制备后进行退火处理，再将二者有机结合，最终得到本发明的串联滤光器。本发明的滤光器将全介质多层膜滤光器与TCO滤光器有机组合，集二者优点于一身，能对全光谱能量进行调制，使可利用的波段能量透射，不可利用的波段能量反射，提高滤光器的光谱效率，能结合热光伏系统使用，提高系统效率。

主权项

一种高性能全介质干涉多层膜‑TCO串联型滤光器，其特征在于，该滤光器包含：     基底（10），     设置在基底（10）第一面上的TCO膜层（20）；     设置在TCO膜层（20）上的全介质多层膜（30）；及     设置在基底（10）第二面上减反射膜层（40）；     所述的全介质多层膜（30）是由若干层高折射率介质膜与低折射率介质膜交替叠加构成。