| 发明名称 | 单晶炉中轴盖 | ||
| 摘要 | 本发明单晶炉中轴盖，包括接触板以及设置在所述接触板上、下表面的内圈及提拉环；其中所述接触板为圆形，所述接触板的直径大于单晶炉中轴管道口的内直径；所述内圈为圆形，所述内圈的直径小于单晶炉中轴管道口的内直径。所述接触板与所述内圈同轴设置。本发明单晶炉中轴盖使用中轴盖，在单晶炉热场清扫过程中覆盖在中轴管道之上，防止氧化物粉尘、颗粒堵塞管道。 | ||
| 申请公布号 | CN103572376A | 申请公布日期 | 2014.02.12 |
| 申请号 | CN201310539134.6 | 申请日期 | 2013.11.04 |
| 申请人 | 上海申和热磁电子有限公司 | 发明人 | 陈小林;贺贤汉 |
| 分类号 | C30B35/00(2006.01)I | 主分类号 | C30B35/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人 | 沈履君 |
| 主权项 | 单晶炉中轴盖，其特征在于，包括接触板以及设置在所述接触板上、下表面的内圈及提拉环；其中所述接触板为圆形，所述接触板的直径大于单晶炉中轴管道口的内直径；所述内圈为圆形，所述内圈的直径小于单晶炉中轴管道口的内直径。 | ||
| 地址 | 200444 上海市宝山区宝山城市工业园区山连路181号 | ||