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发明名称
过滤测试设备
摘要
一种过滤测试设备,包括壳体、输送泵、储存槽、驱动装置、秤重装置以及感测装置。输送泵配置于壳体内并具有输出口,用以输送化学组成物。储存槽配置于壳体内并具有与输出口相对的开口,用以储存化学组成物。驱动装置配置于壳体内,用以施加压力驱动输送泵,使得化学组成物自输出口排出至储存槽。秤重装置配置于壳体内并接触于储存槽,用以量测化学组成物之重量并产生重量资料。感测装置配置于壳体内并位于驱动装置与输送泵之间,用以感测驱动装置施加之压力并产生压力资料。
申请公布号
TWM471308
申请公布日期
2014.02.01
申请号
TW102217191
申请日期
2013.09.12
申请人
新应材股份有限公司 桃园县龙潭乡新和路455号
发明人
陈富亮;王嘉麟;叶伟清
分类号
B01D29/00;H01L21/00
主分类号
B01D29/00
代理机构
代理人
郭晓文 台北市文山区罗斯福路6段407号4楼;杨代强 台北市文山区罗斯福路6段407号4楼
主权项
地址
桃园县龙潭乡新和路455号
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