| 发明名称 |
Selbstausrichtendes Maskierverfahren, insbesondere für Halbleiteroberflächen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH529446(A) |
申请公布日期 |
1972.10.15 |
| 申请号 |
CH19710012179 |
申请日期 |
1971.08.19 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
F.,DR. BROOM,RONALD |
| 分类号 |
H01L29/80;H01L21/033;H01L21/338;H01L23/485;H01L27/00;H01L29/00;H01L29/812;(IPC1-7):H01L7/60 |
主分类号 |
H01L29/80 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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