处理多晶硅还原尾气的方法和系统

摘要

本发明公开了一种处理多晶硅还原尾气的方法和系统，该方法包括：将多晶硅还原尾气进行除尘处理，以便得到经过除尘的还原尾气；将经过除尘的还原尾气进行冷凝处理，以便得到第一氯硅烷和经过冷凝处理的还原尾气；将经过冷凝处理的还原尾气进行第一加压冷却处理，以便得到第二氯硅烷和经过第一加压冷却处理的还原尾气；将经过第一加压冷却处理的还原尾气进行吸附处理和脱吸处理，以便得到氢气和包含氯硅烷和氯化氢的混合气体；将包含氯硅烷和氯化氢的混合气体进行第二加压冷却处理，以便得到第三氯硅烷和包含氯化氢的不凝气。

主权项

一种处理多晶硅还原尾气的方法，其特征在于，包括：将所述多晶硅还原尾气进行除尘处理，以便得到经过除尘的还原尾气；将所述经过除尘的还原尾气进行冷凝处理，以便得到第一氯硅烷和经过冷凝处理的还原尾气；将所述经过冷凝处理的还原尾气进行第一加压冷却处理，以便得到第二氯硅烷和经过第一加压冷却处理的还原尾气；将所述经过第一加压冷却处理的还原尾气进行吸附处理，以便得到氢气和含有氯硅烷和氯化氢的吸附剂；将所述含有氯硅烷和氯化氢的吸附剂进行脱吸处理，以便得到包含氯硅烷和氯化氢的混合气体；将所述包含氯硅烷和氯化氢的混合气体进行第二加压冷却处理，以便得到第三氯硅烷和包含氯化氢的不凝气。