发明名称 STRUCTURE AND METHOD FOR THE FABRICATION OF A GALLIUM NITRIDE VERTICAL CAVITY SURFACE EMITTING LASER
摘要 A Ill-Nitride based Vertical Cavity Surface Emitting Laser (VCSEL), wherein a cavity length of the VCSEL is controlled by etching.
申请公布号 WO2014015337(A2) 申请公布日期 2014.01.23
申请号 WO2013US51498 申请日期 2013.07.22
申请人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA;HOLDER, CASEY O.;FEEZELL, DANIEL F.;DENBAARS, STEVEN P.;SPECK, JAMES S.;NAKAMURA, SHUJI 发明人 HOLDER, CASEY O.;FEEZELL, DANIEL F.;DENBAARS, STEVEN P.;SPECK, JAMES S.;NAKAMURA, SHUJI
分类号 H01S5/10;H01S5/183 主分类号 H01S5/10
代理机构 代理人
主权项
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