多光束曝光扫描方法和设备，以及用于制造印刷版的方法

摘要

在一种多光束曝光扫描方法中，当作为将利用单个光束照射的对象物上的区域的照射区域被曝光时，基于待被曝光的该照射区域附近的另一照射区域的曝光状态来控制光束的光量。当待被曝光的照射区域的周边附近的另一照射区域尚未被曝光时，利用具有第一光量的光束照射该照射区域。当另一照射区域已经被曝光时，利用具有小于第一光量的第二光量的光束照射该照射区域。因此，能够有效地减轻由于相邻光束导致的热的影响。

主权项

一种用于利用从光纤耦合激光二极管发射的多个光束来扫描柔性版以雕刻所述柔性版的表面的多光束曝光扫描方法，包括：控制分别根据其他照射区域的曝光状态顺次地曝光多个照射区域的多个光束的光量，其中控制所述多个光束的光量包括：当邻近于在所述多个光束中首先扫描的前端光束的照射区域的邻近区域尚未被曝光时，将所述前端光束的光量设置为第一光量；以及当所述邻近区域已经被曝光时，将所述前端光束的光量设置为小于所述第一光量的第二光量；将所述多个光束中的两个或更多光束的光量设置为逐渐小于所述前端光束的光量，所述两个或更多光束邻近于所述前端光束并且在所述前端光束的扫描之后顺序地扫描；以及将所述多个光束中最后扫描的后端光束的光量设置为大于邻近于所述后端光束的光束的光量。