发明名称 |
准单晶铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置 |
摘要 |
本实用新型涉及一种准单晶铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置,包括底板、焊接波纹管、磁流体密封、活动板、导柱、电机、顶板、光栅尺、不锈钢丝绳、滑轮、配重、石英探棒、籽晶和坩埚系统。本实用新型结构合理,实现了在铸锭炉炉腔的高温及真空环境中,对籽晶的融化厚度进行监控测量,保证了对准单晶硅生产工艺的过程控制。 |
申请公布号 |
CN203382851U |
申请公布日期 |
2014.01.08 |
申请号 |
CN201320463852.5 |
申请日期 |
2013.08.01 |
申请人 |
安徽大晟新能源设备科技有限公司 |
发明人 |
水川;许柏;罗道南 |
分类号 |
C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;C30B11/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B28/06(2006.01)I |
代理机构 |
蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 |
代理人 |
王琪 |
主权项 |
一种准单晶铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置,其特征在于:包括底板、焊接波纹管、磁流体密封、活动板、导柱、电机、顶板、光栅尺、不锈钢丝绳、滑轮、配重块、石英探棒、籽晶和坩埚系统;所述底板安装在炉体外壳上,底板两侧设有导柱,导柱上端设有连接顶板,导柱之间设有活动板,活动板中间设有磁流体密封,磁流体密封内部设有焊接波纹管;焊接波纹管下端与炉体连接,焊接波纹管的上端通过磁流体密封与电机连接;焊接波纹管内设有石英探棒,石英探棒下端伸入炉体内部,石英探棒的上端与电机的输出轴连接; 所述底板与顶板的一侧安装有光栅尺,光栅尺的读数头与活动板连接;所述顶板上设有滑轮,滑轮上设有钢丝绳,钢丝绳的一端与活动板连接,另一端连接有配重块。 |
地址 |
237000 安徽省六安市霍邱县姚李镇街道 |