一种控制研磨工艺的方法

摘要

一种控制研磨工艺的方法，所述研磨工艺包括主研磨步骤与过研磨步骤，所述方法包括如下步骤：根据待研磨层厚度计算主研磨步骤的时间范围；设置主研磨步骤的最大允许时间，所述最大允许时间的值大于主研磨时间范围的最大值；在实施主研磨工艺的过程中监控研磨时间，当主研磨步骤的实施时间达到最大允许时间时，立即停止主研磨工艺。本发明的优点在于，所监控的研磨时间仅仅是主研磨时间，而并不涵盖过研磨的时间，由于在达到研磨终点之后实际上还需要实施一步过研磨工艺，因此能够尽力避免过研磨而导致晶圆报废的情况发生。

主权项

一种控制研磨工艺的方法，所述研磨工艺包括主研磨步骤与过研磨步骤，其特征在于，所述方法包括如下步骤：根据待研磨层厚度计算主研磨步骤的时间范围；设置主研磨步骤的最大允许时间，所述最大允许时间的值大于主研磨时间范围的最大值；在实施主研磨工艺的过程中监控研磨时间，当主研磨步骤的实施时间达到最大允许时间时，立即停止主研磨工艺。