发明名称 可调光学元件的径向调节装置
摘要 本发明的可调光学元件的径向调节装置包括一可调镜组、至少一径向调节机构、一固定镜座、至少一电机组件、一弹性柱塞和一轴向支撑机构;所述可调镜组通过所述轴向支撑机构设置在所述固定镜座内,所述轴向支撑机构用于支撑所述可调镜组并保证所述可调镜组轴向位移不变;所述弹性柱塞固定设置在所述固定镜座内,该弹性柱塞的一端与所述可调镜组弹性连接;所述径向调节机构设置在所述固定镜座内,该径向调节机构与所述可调镜组径向移动连接;所述电机组件与所述径向调节机构连接;所述电机组件驱动所述径向调节机构运动,从而带动所述可调镜组径向移动,所述弹性柱塞用于保持所述可调镜组在径向上的平衡。
申请公布号 CN102375200B 申请公布日期 2013.12.18
申请号 CN201010256222.1 申请日期 2010.08.18
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 崔建波;王洪尊;谭长永
分类号 G02B7/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 主分类号 G02B7/02(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种可调光学元件的径向调节装置,其特征在于,包括一可调镜组、至少一径向调节机构、一固定镜座、至少一电机组件、一弹性柱塞和一轴向支撑机构;所述轴向支撑机构,用于支撑所述可调镜组并保证所述可调镜组轴向位移不变;所述可调镜组,通过所述轴向支撑机构设置在所述固定镜座内;所述可调镜组包括可调镜座和可调镜片;所述弹性柱塞固定设置在所述固定镜座内,该弹性柱塞的一端与所述可调镜组弹性连接;所述径向调节机构设置在所述固定镜座内,该径向调节机构与所述可调镜组径向移动连接;所述径向调节机构包括顶杆、弹簧、顶出块、两个弹簧片、保持套和滑轮;所述顶出块的一外侧壁为圆弧面,该圆弧面与所述可调镜座的外侧壁相抵接;所述滑轮设置在所述顶杆的顶端;所述顶杆的底端与所述电机组件连接;所述顶出块设有一通孔,该通孔有一个侧面为斜面,所述斜面与所述滑轮的外表面相抵接;所述保持套套在所述顶杆上,该保持套与所述固定镜座固定连接,使所述顶杆沿所述顶杆的轴线方向移动;所述弹簧设置在所述顶杆和所述固定镜座之间,该弹簧用于顶杆的预紧和复位;所述两个弹簧片的一端分别设置在所述顶出块的通孔的两侧,该两个弹簧片的另一端分别固定在所述保持套的两侧面上,该两个弹簧片用于所述顶出块的复位;所述电机组件与所述径向调节机构连接,所述电机组件驱动所述径向调节机构运动,即所述电机组件驱动所述顶杆沿该顶杆的轴线方向移动,带动所述滑轮沿所述顶杆的轴线方向移动,从而推动所述可调镜座在径向上移动,从而带动所述可调镜组径向移动,所述弹性柱塞用于保持所述可调镜组在径向上的 平衡。
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