首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
使半导体工件在多种化学物质中振荡曝置的系统和方法
摘要
本发明揭示一种使一半导体工件在多种化学物质中振荡曝置的系统和方法。依据一具体实施例之一方法包括依序曝置一半导体工件表面之一部分于一具有一第一化学成分之第一化学物质中及一具有一不同于该第一化学成分之第二化学成分的第二化学物质中。在冲洗该工件表面之部分之前,该部分系再次依序曝置于该等第一及第二化学物质中。从该部分移除该等第一及第二化学物质,并在至少两次依序曝置该部分于该等第一及第二化学物质之每一化学物质中及移除该等第一及第二化学物质之后,冲洗并乾燥该部分。
申请公布号
TWI416607
申请公布日期
2013.11.21
申请号
TW097120778
申请日期
2008.06.04
申请人
美光科技公司 美国
发明人
麦克 安德斯
分类号
H01L21/30;H01L21/02
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
美国
您可能感兴趣的专利
OXYGEN SENSOR
ADENOSINE DERIVATIVE AND ITS PREPARATION
EXTRUSION MOLDING OF VINYL CHLORIDE COPOLYMER
MANUFACTURE OF SYNTHETIC RESIN LAMINATED SHEET HAVING OPEN WORK PATTERN LIKE LACE
PULSE COMPRESSING CIRCUIT OF PULSE RADAR
HOLLOW BODY AND ITS MANUFACTURE
AUTOMATIC PHOTOGRAPHIC MASK TESTING DEVICE
INK FEEDING DEVICE FOR INK JET RECORDER
DELAY LINE TYPE SCINTILLATION CAMERA
INCINERATOR
ULTRASONIC FLUOROSCOPE
DECOMPOSITION OF COMPOUND BY UTILIZATION OF ELECTROLYSIS
METHOD FOR CALCULATING TOTAL DISCHARGE WEIGHT IN CONSTANT FEEDWARE
SILVER HALIDE PHOTOGRAPHIC SENSITIVE MATERIAL
DEVICE FOR INSPECTING GAS LEAK IN COOLING UNIT
COMPOSITION FOR AFFECTED PART
RECOVERY OF AROMATIC BISIMIDE
SOLAR ENERGY ABSORBING APPARATUS
WATER HEATER CONTINUOUSLY UTILIZING SOLAR HEAT
METHOD OF BLOWING PULVERIZED COAL INTO FURNACE