SYSTEMES ET PROCEDES POUR LA DETECTION, LA CLASSIFICATION ET LA QUANTIFICATION DE CARACTERISTIQUES DE SURFACE DE PLAQUETTE AVEC DES OUTILS DE METROLOGIE DE GEOMETRIE DE PLAQUETTE.

摘要

La présente invention concerne des systèmes et des procédés qui fournissent des capacités d'inspection des microdéfauts à des systèmes optiques tels que des outils de métrologie et des systèmes interférométriques pour plaquettes. Les systèmes et procédés selon la présente invention permettent de détecter, de classer et de quantifier des caractéristiques de surface d'une plaquette, les défauts détectés étant classés et des informations importantes de métrologie des défauts que sont la hauteur/profondeur, l'aire et le volume étant consignées. Les systèmes et les procédés selon la présente invention fournissent par conséquent un plus grand nombre de valeurs qui permettent de quantifier l'effet négatif de ces défauts sur la qualité des plaquettes.