| 发明名称 | 光致抗蚀剂用树脂组合物、光致抗蚀剂以及液晶设备的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种灵敏度、图案形状、分辨率以及残膜性各自平衡良好的优异的光致抗蚀剂用树脂组合物。一种光致抗蚀剂用树脂组合物，其特征在于，含有:（A）使含有间甲酚、对甲酚以及2，5-二甲酚的酚类和醛类在酸催化剂的存在下于110℃～220℃的温度条件下反应而得到的邻位率为23%以上的高邻位酚醛清漆型酚醛树脂，（B）萘醌二叠氮化物衍生物，和（C）溶剂。 | ||
| 申请公布号 | CN103389622A | 申请公布日期 | 2013.11.13 |
| 申请号 | CN201310170897.8 | 申请日期 | 2013.05.10 |
| 申请人 | 住友电木株式会社 | 发明人 | 今村裕治 |
| 分类号 | G03F7/039(2006.01)I;G03F7/023(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/039(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 苗堃;金世煜 |
| 主权项 | 一种光致抗蚀剂用树脂组合物，其特征在于，含有:（A）使含有间甲酚、对甲酚以及2，5‑二甲酚的酚类和醛类在酸催化剂的存在下于110℃～220℃的温度条件下反应而得到的邻位率为23%以上的高邻位酚醛清漆型酚醛树脂，（B）萘醌二叠氮化物衍生物，和（C）溶剂。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||