| 摘要 |
一种应用于真空制程之连续送料装置，其系于一本体之二端分别设有供穿置料带之槽道，且于内部架设具上、下滚轮之滚轮组，以供夹抵输送料带，该滚轮组与本体之槽道间并设有密封机构，该密封机构系于本体之槽道上方侧壁设有可弹性接抵上滚轮环面之上密封件，且于槽道之下方侧壁设有可弹性接抵下滚轮环面之下密封件，另该槽道之左、右侧方则分别设有侧密封件，并使该二侧密封件可分别弹性贴抵上、下滚轮之端缘及上、下密封件之侧缘，以形成连接抽气装置之真空辅助腔室，而可装设于真空制程设备之输入端及输出端，以进行真空制程之连续输送料带；藉此，其不仅可有效确保阻隔气体，以利进行料带之真空制程加工，且可使上、下密封件及侧密封件可与上、下滚轮保持适当之接抵压力，以减少磨耗，进而达到提升真空密闭性及使用寿命之实用效益。 |
