发明名称 具有多重防护功能的摄像机防护罩生产工艺
摘要 本发明涉及一种具有多重防护功能的摄像机防护罩生产工艺,包括步骤:a、切割玻璃双面抛光处理;b、对a步骤处理后玻璃进行清洗;c、对b步骤玻璃脱水、烘干处理;d、将c步骤玻璃送装于高真空光学镀膜机托盘,将W5三防膜料置于电子枪坩埚,对真空室进行抽真空操作;e、待真空室气压达到5X10-3帕斯卡后,充空气到1X10-1帕斯卡,离子轰击清洁玻璃表面10分钟,然后关闭充气阀直到真空室气压降低到3X10-3帕斯卡,进行三防镀膜,控制蒸发速率为0.3纳米/秒,待镀膜厚达到28nm时,关闭蒸发源挡板、电子枪和高真空大阀完成真空镀膜过程。
申请公布号 CN103361611A 申请公布日期 2013.10.23
申请号 CN201210086182.X 申请日期 2012.03.27
申请人 王晓强 发明人 王晓强
分类号 C23C14/30(2006.01)I 主分类号 C23C14/30(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种具有多重防护功能的摄像机防护罩生产工艺,其生产工艺步骤如下:a、将玻璃切割成预定的尺寸大小后,双面进行高速抛光处理;b、利用超声波光学清洗机对a步骤处理后得到的玻璃进行清洗;c、对经过b步骤清洗处理的玻璃进行脱水、烘干处理;d、将经过c步骤处理的玻璃送装于高真空光学镀膜机的真空室内的上托盘上,将W5三防膜料置于该高真空光学镀膜机的电子枪坩埚,之后关闭该高真空光学镀膜机的真空室舱门,启动抽气系统利用机械泵和油扩散泵对真空室进行抽真空操作;e、待真空室气压达到5×10‑3帕斯卡后,充空气到1×10‑1帕斯卡,进行离子轰击清洁玻璃表面10分钟,然后关闭充气阀,直到真空室内的气压降低到3×10‑3帕斯卡,打开电子枪电源进行三防镀膜,同时,利用石英晶体监控仪控制蒸发速率为0.3纳米/秒,待镀膜厚达到28nm时,关闭蒸发源挡板,关闭电子枪完成真空镀膜过程,同时关闭高真空大阀,静置十分钟,对真空室充气恢复到正常室压后,取出镀膜后的玻璃,整个镀膜工艺结束。
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