发明名称 镀液和电镀方法
摘要 镀液和电镀方法。本发明公开了含有特定氧化胺表面活性剂的锡-银合金电镀液以及使用这种镀液电镀含锡银层的方法。上述电镀液用来提供具有降低的孔洞形成率和改善的芯片(die)内均匀性的锡-银焊料沉积。提供了一种电镀组合物,所述组合物包括:水溶性的二价锡离子源;水溶性的银离子源;水;酸电解质;以及烷氧基化胺氧化物表面活性剂。
申请公布号 CN103361685A 申请公布日期 2013.10.23
申请号 CN201310192370.5 申请日期 2013.02.16
申请人 罗门哈斯电子材料有限公司 发明人 李仁镐;E·亚高迪金;秦毅;今成真明;罗雨
分类号 C25D3/60(2006.01)I 主分类号 C25D3/60(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 陈哲锋
主权项 一种电镀组合物,所述组合物包括:水溶性的二价锡离子源;水溶性的银离子源;水;酸电解质;以及烷氧基化胺氧化物表面活性剂。
地址 美国马萨诸塞州