化学机械研磨方法

摘要

本发明的化学机械研磨方法，系包括有藉由连续施行第一研磨步骤、与研磨速度较慢于该第一研磨步骤的第二研磨步骤，而对被研磨面施行化学机械式研磨；上述第一研磨步骤与上述第二研磨步骤中所使用的化学机械研磨用水系分散体，系水系分散体(I)与水溶液(II)的混合物；藉由在上述第一研磨步骤与上述第二研磨步骤中，改变上述水系分散体(I)与上述水溶液(II)的混合比，而变更研磨速度。