发明名称 具有发声线圈线性压力进给磨光
摘要 本发明系关于磨光或抛光玻璃基板至少一个边缘的设备。该设备包含磨光单元配置成在对准位置时由至少一个边缘去除预先决定数量之材料。空气轴承滑移系统耦合至磨光单元。空气轴承滑移系统配置成沿着加压空气薄膜上预先决定轴滑移,该空气提供无磨擦力负载轴承界面。线性促动马达耦合至空气轴承滑移系统。线性促动马达配置成控制空气轴承滑移系统之移动,使得磨光单元由非对准位置移动至对准位置。
申请公布号 TWI412430 申请公布日期 2013.10.21
申请号 TW098136606 申请日期 2009.10.28
申请人 康宁公司 美国 发明人 包温 詹威连;拉 巴捌克罗伯
分类号 B24B9/10;B24B47/10;B24B47/20;B24B49/16 主分类号 B24B9/10
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址 美国