| 摘要 |
Die Erfindung betrifft mikromechanisches Bauteil mit einer Halterung (10), einer Aktorplatte (12) mit einer an und/oder in der Aktorplatte (12) angeordneten Spule (14), welche über mindestens eine Zuleitungsfeder (42) mit der Halterung (10) verbunden ist, einem über die Aktorplatte (12) und die mindestens eine Zuleitungsfeder (42) mit der Halterung (10) verbunden Spiegel- und/oder Filterelement (18) und einem Abstandhalter (20), welcher an einem ersten Ende (20a) des Abstandshalters (20) eine von einer Lichtauftrefffläche (22) des Spiegel- und/oder Filterelements (18) weg gerichtete Innenseite (24) des Spiegel- und/oder Filterelements (18) kontaktiert und an einem zweiten Ende (20b) des Abstandshalters (20) eine zu dem Spiegel- und/oder Filterelement (18) ausgerichtete Trägerseite (26) der Aktorplatte (12) kontaktiert. Ebenso betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil. |
