| 发明名称 | 滚筒型干法去胶作业的承载器皿组件 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种滚筒型干法去胶作业的承载器皿组件，其特征在于它包括器皿（1）和金属叉子（2），所述器皿（1）包括四根实心石英棒（3）和两根空心石英棒（4），其中两根实心石英棒（3）位于两根空心石英棒（4）的同侧两端，另外两根实心石英棒（3）位于所述两根空心石英棒（4）的另一侧中间。本实用新型主要是在一定的范围内将石英棒的间距尽可能最大化，这样可以更高效地提高去胶速率，同时适当的加大了槽宽以解决圆片由于热胀冷缩而导致的碎片问题；另外采用金属叉子作为石英棒进出设备的运输工具，这样就大大提高了操作的方便性和工作效率。 | ||
| 申请公布号 | CN203242605U | 申请公布日期 | 2013.10.16 |
| 申请号 | CN201320208921.8 | 申请日期 | 2013.04.24 |
| 申请人 | 江阴新顺微电子有限公司 | 发明人 | 潘伟;黄强;邹洪生;李天鹏;冯东明;王新潮 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人 | 唐纫兰;曾丹 |
| 主权项 | 一种滚筒型干法去胶作业的承载器皿组件，其特征在于它包括器皿（1）和金属叉子（2），所述器皿（1）包括四根实心石英棒（3）和两根空心石英棒（4），其中两根实心石英棒（3）位于两根空心石英棒（4）的同侧两端，另外两根实心石英棒（3）位于所述两根空心石英棒（4）的另一侧中间。 | ||
| 地址 | 214434 江苏省无锡市江阴市滨江开发区澄江东路 | ||