对准系统和对准标记

摘要

本发明提供了一种对准系统和对准标记，该对准标记包括大周期光栅分支和小周期光栅分支，采用分光路探测系统，同时对组成光栅标记的大周期光栅分支±1级衍射光相干成像和小周期光栅分支±1级衍射光相干成像分别进行信号采集、处理与拟合，并结合两组信号的相位信息，确定精确的对准位置。由于仅采用±1衍射光相干成像，避免了高级次衍射光需采用具有楔板调节装置的空间分离装置；采用小周期光栅分支，可以保证获得高的对准精度；采用分光路探测系统，避免了粗对准信号和精对准信号之间串扰现象。

主权项

1、一种用于光刻设备的对准系统，包括：光源模块，用于提供对准系统照明光束；照明模块，用于将所述对准照明光束传输到对准标记上；标记模块，用于使照明光束衍射后的出射光携带有关于对准标记结构的全部信息，将透过参考光栅的光强调制为具有恒定周期的正弦信号；成像模块，用于通过物镜收集对准标记的衍射光或反射光，并利用第一成像光路对组成对准标记的粗对准光栅分支相干成像以及利用第二成像光路对组成对准标记的精对准光栅分支相干成像；信号检测与处理模块，用于处理第一光信号和第二光信号，并结合第一光信号的相位信息和第二光信号的相位信息确定对准标记的位置信息；其特征在于：所述的成像模块至少包括物镜、分束器和成像光学系统，对准标记的衍射光经透镜准直后，经分束器的分束面后进入成像光学系统后，成像在参考光栅上；所述的分束器包括反射区域和透射区域，反射区域位于分束面的外环位置，透射区域位于分束面的内环位置；所述的第一光信号来源于对准标记的粗光栅分支的±1级衍射光相干成像扫描过第一参考光栅；所述的第二光信号来源于对准标记的细光栅分支的±1级衍射光相干成像扫描过第二参考光栅。