以奈米粒子产生离子源之方法

摘要

本发明系为一种以奈米粒子产生离子源之方法，其包括下列步骤：提供奈米粒子；加热奈米粒子；以及离子化气体以产生离子源。藉由将奈米粒子放置于加热载具中，用以加热奈米粒子，使其蒸气化为气体，并使气体离子化进而产生离子源。由于奈米粒子的熔点较一般固体块材低，因此可在较低的温度下蒸气化为气体，藉此不但可降低产生离子源所需之温度，亦可节省产生离子源所需的时间。另外，相较于一般固体块材，以奈米粒子所产生的离子源在相同加热温度下可提供较高的蒸气压及布植剂量，以增加离子布植技术的应用范围。