用于在引线接合操作中降低氧化的输气系统

摘要

提供了一种引线接合机。该引线接合机包括接合工具和电极，电极用于在穿过接合工具延伸的引线的端部上形成无空气球，这里，该无空气球形成在引线接合机的无空气球形成区。该引线接合机还包括接合位置区，接合位置区用于在引线接合操作过程中保持半导体器件。该引线接合机还包括输气机构，输气机构被设置成将保护气体提供至：(1)接合位置区，由此保护气体穿过输气机构的至少一个孔眼喷射到接合位置区；以及(2)无空气球形成区。

主权项

一种引线接合机，包括：接合工具；电极，用于在穿过所述接合工具延伸的引线的端部上形成无空气球，所述无空气球形成在所述引线接合机的无空气球形成区；接合位置区，用于在引线接合操作过程中保持半导体器件；以及输气机构，被设置成将保护气体提供至：(1)所述接合位置区，由此保护气体穿过所述输气机构的至少一个孔眼喷射到所述接合位置区；以及(2)所述无空气球形成区，其中，所述输气机构限定从所述输气机构的顶面到所述输气机构的底面的锥形的通孔，所述锥形的通孔被设置成在引线接合操作过程中接纳所述接合工具，以及其中，所述锥形的通孔在所述底面处的直径大于所述锥形的通孔在所述顶面处的直径。