一种用于扫描隧道显微镜的光收集装置

摘要

本发明公开了一种用于扫描隧道显微镜的光收集装置，包括显微镜探针、反射镜、成像系统和光接收传导装置，其中，所述反射镜为半顶角为45度的圆锥面反射镜；所述显微镜探针设置在所述圆锥面反射镜的中轴线上；所述成像系统被设置为其物面位于经所述圆锥面反射镜所形成的虚像所在的平面内，所述成像系统的像面位于所述光接收传导装置的一端。采用本发明的光收集装置可以降低光学对准难度及加工难度。

主权项

一种用于扫描隧道显微镜的光收集装置，包括从上到下依次设置的反射镜、显微镜探针、成像系统和光接收传导装置，其中，所述反射镜为半顶角为45度的圆锥面反射镜；所述显微镜探针设置在所述圆锥面反射镜的中轴线上；所述成像系统被设置为其物面位于经所述圆锥面反射镜所形成的虚像所在的平面内，所述成像系统的像面位于所述光接收传导装置的一端。