| 发明名称 | 一种真空磁控溅射旋转阴极 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种真空磁控溅射旋转阴极，包括靶筒和安装在所述靶筒上的靶材、产生环形磁场的磁钢，所述磁钢设置在所述靶筒内，还包括增强并拉平所述磁钢两端磁场强度的调节磁钢，所述调节磁钢设置在所述磁钢两端。本实用新型的一种真空磁控溅射旋转阴极，通过设置调节磁钢，增强并拉平所述磁钢两端磁场强度，上磁场变化大幅减少且变化平缓，旋转阴极靶材利用率大幅提高。同时，采用多级密封，使其多种密封性能更好。 | ||
| 申请公布号 | CN203222615U | 申请公布日期 | 2013.10.02 |
| 申请号 | CN201320176099.1 | 申请日期 | 2013.04.10 |
| 申请人 | 深圳市生波尔机电设备有限公司 | 发明人 | 谢建军;高文波 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人 | 黄震;孙伟 |
| 主权项 | 一种真空磁控溅射旋转阴极，包括靶筒和安装在所述靶筒上的靶材、产生环形磁场的磁钢，所述磁钢设置在所述靶筒内，其特征在于，还包括增强并拉平所述磁钢两端磁场强度的调节磁钢，所述调节磁钢设置在所述磁钢两端。 | ||
| 地址 | 518118 广东省深圳市坪山新区深圳出口加工区2号路达新小区A栋厂房第一层西 | ||