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发明名称 Reference signal generating configuration for an interferometric miniature grating encoder readhead using fiber optic receiver channels
摘要
申请公布号 EP2023094(A3) 申请公布日期 2013.10.02
申请号 EP20080012826 申请日期 2008.07.16
申请人 MITUTOYO CORPORATION 发明人 ZWILLING, AVRON;TOBIASON, JOSEPH D.;HARSILA, SCOTT;MASRELIEZ, KARL GUSTAV
分类号 G01D5/347 主分类号 G01D5/347
代理机构 代理人
主权项
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