Vorrichtung zur chemischen Gasphasen-Abscheidung mit Suszeptor

摘要

Es wird eine chemische Gasphasenabscheidungs-(CVD)-Vorrichtung mit einer Kammer, einem Suszeptor in der Kammer, und einer Heizvorrichtung beschrieben. Der Suszeptor umfasst einen Rotor, eine mit einem unteren Abschnitt des Rotors verbundenen Drehachse, eine mit der Drehachse verbundene Antriebsvorrichtung, und wenigstens eine auf der oberen Oberfläche des Rotors ausgebildeten Ablage. Die Antriebsvorrichtung dreht die Drehachse. Die wenigstens eine Ablage umfasst einen Befestigungsabschnitt, der geeignet ist ein Substrat darauf aufzunehmen und einen hervorstehenden Abschnitt, z. B. eine konvexen Abschnitt, der von der Bodenoberfläche der wenigstens einen Ablage hervorsteht, so dass der hervorstehende Abschnitt an einem mit der Drehachse übereinstimmenden Gebiet angeordnet ist. Die Heizeinheit umgibt die Drehachse und heizt das Substrat.