摘要 |
Halter zur Keimstabfixierung in einem Wachstumsreaktor für polykristallines Silizium, wobei der Halter aufweist: einen Adapter mit einem Spannzangenelement zur Aufnahme eines Keimstabs, wobei das Spannzangenelement einen Befestigungsabschnitt, und eine mit einer Elektrode verbundene gekühlte metallische Stromdurchführung, wobei die Stromdurchführung mit einer Buchse zur Aufnahme des Befestigungsabschnittes des Adapters versehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Tiefe der Stromdurchführungsbuchse die Befestigungsabschnittslänge überschreitet.
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