一种小型微振动测量及控制系统

摘要

本发明涉及一种小型微振动测量及控制系统，其包括：底座、负载盘、折叠梁、压电传感器、压电作动器以及数据处理和控制系统；该折叠梁包含有两个横梁，每个横梁上下表面各粘贴一层压电片，外层压电片作为压电作动器，内层压电片作为压电传感器；该折叠梁位于负载盘和底座之间，通过螺栓压紧连接；四个折叠梁在负载盘下表面沿圆周均布，其上分布的八个压电传感器可以测量出负载扰动源的三个动态力和三个动态弯矩；每一个压电传感器测得的信号经数据处理和控制系统处理后，输出特定的控制电压到与其并置的压电作动器，从而实现对负载振动的抑制；本发明可以有效测量负载振动并抑制负载振动的传递，可靠性高。

主权项

一种小型微振动测量及控制系统，其特征在于包括：底座（6）、负载盘（3）、四个折叠梁（4）、数据处理和控制系统（10）；所述折叠梁（4）包含有两个横梁（9），每个横梁（9）的上下表面都粘贴一层压电片，外层压电片作为压电作动器（5），内层压电片作为压电传感器（8）；所述折叠梁（4）位于负载盘（3）和底座（6）之间，通过螺栓（2）压紧连接；四个折叠梁（4）在负载盘（3）下表面沿圆周均布，负载通过负载盘（3）上的通孔（1）与负载盘（3）固联，底座（6）通过通孔（7）与固定端联接；用作传感器时，八个压电传感器（8）测量出负载的三个动态力和三个动态弯矩方向的电压信号并将其传输到数据处理与控制系统（10），经处理得到六个扰动力的信息；用作控制器时，每一个压电传感器测得的信号经数据处理和控制系统（10）处理后，基于测得的扰动力信息，数据处理和控制系统（10）将发出电压信号到对应的压电作动器（5）使其产生作动力，从而实现对负载振动的抑制。