等离子体刻蚀机的装载系统

摘要

等离子体刻蚀机的装载系统，包括装载腔体和腔盖，装载腔体与腔盖之间设有密封圈，装载腔体一侧设有机械手取送片口，取送片口处设有插板阀，插板阀与机械手腔体连接；装载腔体连接真空机械泵和外界气源；装载腔体内部设有托持片盘的托盘架，托盘架具有多个托持片盘的托持位，每个托持位均设有允许片盘离开的缺口，托盘架固定于底架上，底架与升降旋转装置连接；升降旋转装置包括升降工作部和旋转工作部，升降工作部包括导向杆，升降电机和升降传动机构；旋转工作部包括旋转电机和连接导向杆与旋转电机的旋转传动机构；导向杆与腔体之间间隙密封。本实用新型具有片盘吐量大，能够实现批量加工的优点。

主权项

等离子体刻蚀机的装载系统，其特征在于：包括装载腔体和腔盖，装载腔体与腔盖之间设有密封圈，装载腔体一侧设有机械手取送片口，取送片口处设有插板阀，插板阀与机械手腔体连接；装载腔体连接真空机械泵和外界气源；装载腔体内部设有托持片盘的托盘架，托盘架具有多个托持片盘的托持位，每个托持位均设有允许片盘离开的缺口，托盘架固定于底架上，底架与升降旋转装置连接；升降旋转装置包括带动托盘架抬起或下落的升降工作部，和带动托盘架旋转以转换托持位的旋转工作部，升降工作部包括插入装载腔体内的导向杆，升降电机和连接导向杆与升降电机的升降传动机构；旋转工作部包括旋转电机和连接导向杆与旋转电机的旋转传动机构；导向杆与腔体之间间隙密封。