发明名称 |
氮化物系半导体元件及其制造方法 |
摘要 |
一种氮化物系半导体元件,其是具备生长面为m面的p型接触层(26)、和在p型接触层(26)的生长面上所设置的电极(30)的氮化物系半导体元件。就p型接触层(26)而言,其具有26nm以上、60nm以下的厚度,且是含有所述p型接触层的Mg浓度以上之浓度的氧的GaN系半导体层。 |
申请公布号 |
CN103283043A |
申请公布日期 |
2013.09.04 |
申请号 |
CN201280002602.X |
申请日期 |
2012.04.02 |
申请人 |
松下电器产业株式会社 |
发明人 |
横川俊哉;安杖尚美;井上彰;加藤亮 |
分类号 |
H01L33/14(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I |
主分类号 |
H01L33/14(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
汪惠民 |
主权项 |
一种氮化物系半导体元件,具备:生长面为m面的p型接触层、和在所述p型接触层的所述生长面上所设置的电极,其中,所述p型接触层具有26nm以上、60nm以下的厚度,且是含有所述p型接触层的Mg浓度以上之浓度的氧的GaN系半导体层。 |
地址 |
日本大阪府 |