发明名称 氮化物系半导体元件及其制造方法
摘要 一种氮化物系半导体元件,其是具备生长面为m面的p型接触层(26)、和在p型接触层(26)的生长面上所设置的电极(30)的氮化物系半导体元件。就p型接触层(26)而言,其具有26nm以上、60nm以下的厚度,且是含有所述p型接触层的Mg浓度以上之浓度的氧的GaN系半导体层。
申请公布号 CN103283043A 申请公布日期 2013.09.04
申请号 CN201280002602.X 申请日期 2012.04.02
申请人 松下电器产业株式会社 发明人 横川俊哉;安杖尚美;井上彰;加藤亮
分类号 H01L33/14(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I 主分类号 H01L33/14(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 汪惠民
主权项 一种氮化物系半导体元件,具备:生长面为m面的p型接触层、和在所述p型接触层的所述生长面上所设置的电极,其中,所述p型接触层具有26nm以上、60nm以下的厚度,且是含有所述p型接触层的Mg浓度以上之浓度的氧的GaN系半导体层。
地址 日本大阪府