制程偏移侦测装置与制程偏移侦测方法

摘要

一种制程偏移侦测装置与制程偏移侦测方法。制程偏移侦测装置包括制程偏移侦测器以及补偿信号产生器。制程偏移侦测器包括第一制程偏移侦测元件、第二制程偏移侦测元件以及电流比较器。第一制程偏移侦测元件的通道为第一导电型，第二制程偏移侦测元件的通道为第二导电型，而所述第一导电型与所述第二导电型不相同。电流比较器连接至第一与第二制程偏移侦测元件，以比较二者的电流差异，并输出电流比较结果。补偿信号产生器连接至制程偏移侦测器。依据该电流比较结果，补偿信号产生器产生对应的补偿信号。