发明名称 EVAPORATOR BODY
摘要 <p>A vaporizer body (1) having a vaporizing surface (3) for vaporizing metal in a PVD-metallization installation, wherein the vaporizing surface (3) comprises a plurality of recesses (5, 5′, 5″), with an opening of the respective recess having an area/perimeter-ratio of greater than or equal to 1.5 mm.</p>
申请公布号 EP2271787(B1) 申请公布日期 2013.08.21
申请号 EP20090727416 申请日期 2009.03.11
申请人 KENNAMETAL SINTEC KERAMIK GMBH 发明人 NUERNBERGER, MICHAEL;GRAU, RUDOLF;SCHWEIGER, HUBERT
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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