耐热性树脂前体及使用其的感光性树脂组合物

摘要

提供一种碱可溶性树脂，所述碱可溶性树脂分子中不含卤素原子，灵敏度高，以相同曝光量、相同显影时间形成图案时的膜厚余量宽，能够用半导体装置的制造工序中通常使用的显影液(2.38％TMAH水溶液)进行显影，可溶于γ-丁内酯，且适用于感光性树脂组合物。提供一种树脂，其分子内具有下述通式(1)所示的结构。{式中，X1表示不含卤素原子的4价有机基团，并且Z1表示下述通式(2)所示的2价有机基团(式中，L1、L2和L3分别独立地表示氢原子或甲基，并且L4表示氢原子、甲基或羟基。)}

主权项

1.一种树脂，是重均分子量为3,000～100,000的碱可溶性树脂，其为具有下述通式(1)所示的结构作为重复单元的含酚性羟基的聚酰胺，[化学式1]式(1)中，X₁表示来源于具有X₁结构和酚性羟基的二胺的、不含卤素原子的4价有机基团，并且Z₁表示下述通式(2)所示的2价有机基团，[化学式2]式(2)中，L₁、L₂和L₃分别独立地表示氢原子或甲基，并且L₄表示氢原子、甲基或羟基，所述具有X₁结构和酚性羟基的二胺是选自由2，2-双(3-氨基-4-羟基苯基)丙烷、2，2-双(4-氨基-3-羟基苯基)丙烷、4，6-二氨基-1，3-二羟基苯、3，3’-二羟基-4，4’-二氨基联苯、4，4’-二羟基-3，3’-二氨基联苯、3，4-二羟基-3’，4’-二氨基联苯、双(3-氨基-4-羟基苯基)砜、双(3-氨基-4-羟基苯基)硫醚、双(3-氨基-4-羟基苯基)甲烷、双(4-氨基-3-羟基苯基)甲烷、双(4-氨基-3-羟基苯基)砜、及下述化合物组组成的组中的至少一种化合物，