| 摘要 |
一种厚度测量之校正方法及厚度测量方法。厚度测量方法在具有一第二能量吸收物质的情形下，决定第一能量吸收物质之厚度数值，并包含下列步骤：固定第一能量吸收物质之厚度(tS)，并依序改变第二能量吸收物质之厚度得到校正标准物；取得代表穿透能量束穿透校正标准物之部份能量的复数对显影资料，各包含前景数值(logn(Ic+s))及背景数值(logn(Ic))；改变第一能量吸收物质之厚度(tSi)以重复上述步骤，俾得到复数组强度资料；决定常数Id，以使各强度资料可由对应之线性方程式描述为tSμs/α=logn(Ic+Id)-logn(Ic+s+Id)；决定比例常数μs/α之最佳值，以根据ts'=(α/μs)[ln(Ic'+Id)-ln(Ic+s'+Id)]测量之第一能量吸收物质之未知厚度ts'。 |
