光刻胶前烘装置

摘要

本实用新型涉及显示装置生产过程中的光刻胶前烘（Soft Bake）处理技术领域，具体涉及一种光刻胶前烘装置。该前烘装置包括热板、控制机构、分别与所述控制机构通信连接的检测光刻胶涂层上缺陷的缺陷检测机构以及修复所述缺陷的缺陷修复机构；所述控制机构接收所述缺陷检测机构的检测结果并根据所述检测结果启动所述缺陷修复机构进行缺陷修复。本实用新型的一种光刻胶前烘装置能够通过缺陷检测机构检测光刻胶涂布工艺完成之后到光刻胶前烘处理完成之间的过程产生的mura以及其他缺陷，并且通过缺陷修复机构根据检测结果补救检测到的缺陷；因此，本实用新型的一种光刻胶前烘装置能够提高显示装置的产品良率，具有良好的应用前景。

主权项

一种光刻胶前烘装置，包括热板以及控制机构，其特征在于，还包括分别与所述控制机构通信连接的检测光刻胶涂层上缺陷的缺陷检测机构以及修复所述缺陷的缺陷修复机构；所述控制机构接收所述缺陷检测机构的检测结果并根据所述检测结果启动所述缺陷修复机构进行缺陷修复。