一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器

摘要

本实用新型涉及一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器，包括法兰盘、O型密封圈、泄压盲板、端部带有螺纹的导杆及压缩弹簧，所述法兰盘垂直安装在所述真空管道的下端，所述泄压盲板上设置有通孔，所述泄压盲板设置在所述法兰盘的下方；所述导杆穿过所述泄压盲板上的通孔与所述法兰盘固定连接；所述法兰盘与所述泄压盲板之间通过O型密封圈密封；所述压缩弹簧套设在所述导杆上。该结构将自动的、持续的防治因炉内压力过高产生的不稳定状态，并且密封性好，磨损小，结构简单，可长期重复使用。整个过程无需人工操作，自动完成。

主权项

一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器，其特征在于，包括法兰盘、O型密封圈、泄压盲板、端部带有螺纹的导杆及压缩弹簧，所述法兰盘垂直安装在所述碳化硅单晶炉真空管道的下端，所述泄压盲板上设置有通孔，所述泄压盲板设置在所述法兰盘的下方；所述导杆上端穿过所述泄压盲板上的通孔与所述法兰盘螺纹连接；所述法兰盘与所述泄压盲板之间通过O型密封圈密封；所述压缩弹簧套设在所述导杆上；所述导杆下端安装在基座上。