| 发明名称 | 真空镀膜工件转台 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种真空镀膜工件转台，其包括一载物台，该载物台包括一转盘和一行星齿轮，该转盘和该行星齿轮中的太阳轮通过滚珠相枢接。本实用新型通过使用滚珠直接将该转盘和该行星齿轮相枢接，该载物台具有结构简单和轻薄的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN203080059U | 申请公布日期 | 2013.07.24 |
| 申请号 | CN201220624729.2 | 申请日期 | 2012.11.22 |
| 申请人 | 上海法德机械设备有限公司 | 发明人 | 王叔晖;刘竹杨 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人 | 胡美强 |
| 主权项 | 一种真空镀膜工件转台，其包括一载物台，其特征在于，该载物台包括一转盘和一行星齿轮，该转盘和该行星齿轮中的太阳轮通过滚珠相枢接。 | ||
| 地址 | 201616 上海市松江区小昆山镇崇南南路2号 | ||