用于精炼多晶硅循环真空设备的石墨吸嘴

摘要

本发明公开了一种用于精炼多晶硅循环真空设备的石墨吸嘴。该石墨吸嘴由多节石墨管堆栈组合而成，其中，每一石墨管包括一上结合部与一下结合部，上结合部位于该石墨管的上方顶面，下结合部位于该石墨管的下方底面，并与该上结合部对应，使得各石墨管的该上结合部与另一石墨管的该下接合部可相互抵接，并于各石墨管堆栈之后，经由烧结处理使各石墨管融合密接。

主权项

一种用于精炼多晶硅循环真空设备的石墨吸嘴，由多节石墨管堆栈组合而成，其特征在于每一石墨管包括：一上结合部，位于该石墨管的上方顶面；及，一下结合部，位于该石墨管的下方底面，并与该上结合部对应，使得各石墨管的上结合部与另一石墨管的下接合部相互抵接；并于各石墨管堆栈之后，经由烧结处理使各石墨管融合密接。