一种II-VI族软脆晶体绿色环保研磨抛光方法

摘要

一种II-VI族软脆晶体绿色环保研磨抛光方法，属于II-VI族软脆晶体加工制造技术领域。其特征是样品为II-VI族软脆晶体，采用固结磨料的防水砂纸，固结磨料磨盘作为研磨工具，磨料为氧化铝、二氧化铈、二氧化硅，粒度为2000-5000。工件和研磨盘转速均为40-80 rpm，压力为15-20 kPa，研磨液为去离子水，研磨时间3-10 min。化学机械抛光液由硅溶胶、双氧水组成，硅溶胶的pH值为6-8，二氧化硅粒径为50-80 nm，pH值调节剂为桔子汁、柚子汁、山楂汁、西红柿汁、柠檬汁中的一种，调节后抛光液的pH值为4-6，工件和抛光盘转速均为40-80 rpm，压力20-30 kPa，抛光时间 20-40 min。本发明的效果和益处是实现了II-VI族软脆晶体绿色环保研磨抛光方法。

主权项

一种II‑VI族软脆晶体绿色环保研磨抛光方法，采用固结磨料研磨以及绿色环保抛光液抛光方法，实现II‑VI族软脆晶体超光滑、低/无损伤加工，其特征是：（1）样品为II‑VI族软脆晶体；（2）研磨采用固结磨料的防水砂纸，固结磨料磨盘；（3）磨料为氧化铝、二氧化铈、二氧化硅，粒度为2000‑5000；（4）工件和研磨盘转速均为40‑80 rpm，压力为15‑20 kPa，研磨液为去离子水，研磨时间3‑10 min；（5） 化学机械抛光液由硅溶胶、双氧水组成，硅溶胶的pH值为6‑8，二氧化硅粒径为50‑80 nm；（6）化学机械抛光液pH值调节剂为桔子汁、柚子汁、山楂汁、西红柿汁、柠檬汁中的一种，调节后抛光液的pH值为4‑6；（7）工件和抛光盘转速均为40‑80 rpm，压力20‑30 kPa，抛光时间 20‑40 min；（8）工件抛光后用去离子水冲洗干净，再用压缩空气吹干。