发明名称 去除掩模板辅助图形的方法
摘要 一种去除掩模板辅助图形的方法,其特征在于,将相对位置固定好的掩模板及掩模框架放在切割基台上;通过CCD定位掩模板,通过原始文件确定切割基线的坐标,调整切割参数和激光切割头的纵向高度,使其激光焦点落在掩模板厚的中间位置,以保证尽量垂直的切割边;通过激光切割头发射出激光,沿切掩模板上的割基线进行切割。本发明所涉及的掩模板及其制作方法,通过激光切割技术将辅助图形区域从主图形区域分离,工艺简单,并且保证剥离边缘光滑整齐、无毛刺,外边框对位时不会导致位置偏差。
申请公布号 CN103203551A 申请公布日期 2013.07.17
申请号 CN201210010708.6 申请日期 2012.01.16
申请人 昆山允升吉光电科技有限公司 发明人 魏志凌;高小平;郑庆靓;孙倩
分类号 B23K26/38(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I 主分类号 B23K26/38(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种去除掩模板辅助图形的方法,其特征在于,将相对位置固定好的掩模板及掩模框架放在切割基台上;通过CCD定位掩模板,通过原始文件确定切割基线的坐标,调整切割参数和激光切割头的纵向高度,使其激光焦点落在掩模板厚的中间位置,以保证尽量垂直的切割边;通过激光切割头发射出激光,沿切掩模板上的割基线进行切割。
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