湿硅片分片机

摘要

本实用新型公开了一种湿硅片分片机，包括机架，在机架的顶端固定有控制盒，特征是：在控制盒下面的左端和中右端分别安装有Z向运动模组和X向运动模组，在Z向运动模组的底端安装有用来盛装硅片的托板，吸盘杆安装在X向运动模组的下面，可被X驱动电机驱动进行左右运动，在吸盘杆的下端安装有能吸住托板内硅片的吸盘；在机架的中部右端安装有硅片输送装置，在硅片输送装置的左端安装有能将吸盘上的硅片搓离吸盘的搓片辊；水泵箱内的水泵将水槽中的水通过前侧板和后侧板上的分片注水孔注入到托板内。本实用新型使用搓片辊将硅片从吸盘上搓出，减少了吸盘的运动距离，提高了生产效率、保证了硅片不会因为与吸盘分离而产生碎片，自动化程度高。

主权项

一种湿硅片分片机，包括机架，在机架的顶端固定有内装了X向驱动电路、Z向驱动电路和控制电路的控制盒，在控制盒的前端设有控制面板，在机架的前端下方安装有门，在机架的底端安装有带万向轮的脚，其特征在于：后侧板将机架内的控制盒下方的上部空间分为前箱体和后箱体，在前箱体内、控制盒的左端和中右端分别安装了内装有Z向驱动电机的Z向运动模组和内装有X向驱动电机的X向运动模组，Z向驱动电机能驱动托板在前箱体内的Z方向上下移动，X向驱动电机能驱动吸盘杆在前箱体内的X方向左右移动，在Z向运动模组的底端安装有用来承托硅片的托板，在托板的前后两面分别固定有从前后两面包夹住托板的前侧板和后侧板，硅片被Z向运动模组、前侧板、后侧板、搓片辊支架围住，只能被托板托着作上下运动，左右前后不能动，吸盘杆的上端安装在X向运动模组的下面，在吸盘杆的下端安装有能吸住托板内硅片的吸盘；在机架的中部右端安装有前后两边带挡板的硅片输送装置，在硅片输送装置的左端安装有搓片辊支架，在搓片辊支架上安装有能顺时针旋转以便将吸盘上的硅片搓离吸盘的搓片辊；在后箱体内安装有内有水泵的水泵箱，在前侧板和后侧板上设有若干个分片注水孔，托板、硅片、吸盘下部、前侧板下部、后侧板下部、Z向运动模组的下部、水泵箱都包在内装有水的水槽内，并都浸在水槽内的水中；水泵箱内的水泵将水槽中的水通过前侧板和后侧板上的分片注水孔注入到硅片上。