氧化物材料、及溅镀靶

摘要

本发明提供一种其特征系含有铟(In)、锡(Sn)、及金属元素M，含有钛铁矿构造化合物之氧化物材料；由其所成的溅镀靶；使用其所成膜的透明导电膜；由其所成的透明电极。