一种异物检查处理装置及曝光机

摘要

本实用新型涉及一种异物检查处理装置及曝光机，其中异物检查处理装置用于对基板上的异物进行检查和处理，包括：用于承载基板的承载台；设置在基板两侧的光源，光源设置在承载台上；设置在承载台上的固定架；用于捕捉由基板上的异物经光源照射而发生散射的光线，并成像的第一图像传感器，设置在固定架上，以获得异物的位置和面积信息，并可在基板相对应的上方区域内移动；用于减小基板上的异物的高度，以使得异物的高度小于第一预设值的异物处理结构，设置在固定架上。异物检查处理装置使得异物的高度满足基板进行曝光的工艺要求，减小由于异物高度过大而造成的不能进行曝光的基板的损失。

主权项

一种异物检查处理装置，用于对基板上的异物进行检查和处理，其特征在于，包括：承载台，用于承载基板；设置在基板两侧的光源，所述光源设置在所述承载台上；设置在所述承载台上的固定架；设置在所述固定架上的第一图像传感器，用于捕捉由基板上的异物经所述光源照射而发生散射的光线、并成像，以获得异物的位置和面积信息，并可在所述基板相对应的上方区域内移动；设置在所述固定架上的异物处理组件，用于对检测到的异物进行处理，减小基板上的异物的高度，以使得异物的高度小于第一预设值。