发明名称 Piezo actuator with passive areas on the top and/or base
摘要 <p>Es wird ein Piezoaktor mit einem Mehrschichtaufbau von Piezoelementen (2), die jeweils aus zwischen Innenelektroden (3,4) eingefassten Piezolagen bestehen vorgeschlagen, an die in einem aktiven Bereich über eine wechselseitige seitliche Kontaktierung der Innenelektroden (3,4) mittels Außenelektroden (6,7) eine elektrische Spannung anlegbar ist. Es ist mindestens ein Bereich an den kopf- und/oder fußseitigen Enden des Mehrschichtaufbaus der Piezoelemente (2) vorhanden mit einer stufenartigen Erhöhung der Schichtdicken der Piezolagen der Piezoelemente (2) von dem aktiven Bereich jeweils zum Kopf (8) und/oder zum Fuß (9) des Piezoaktors (1), wobei in die Piezolagen von der Schichtdicke abhängige zusätzliche nichtkontaktierte Metallisierungselemente eingebracht sind. Die Metallisierungselemente sind aus in vorgegebenen Abständen in Längs- oder Wirkungsrichtung des Piezoaktors (1) eingebrachten Metallfolien oder Dotierschichten (20,21) mit einem vorgegebenen Muster, vorzugsweise einem Streifenmuster, gebildet. Das Streifenmuster ist vorzugsweise derart gestaltet, dass eine Lücke im Streifenmuster jeweils eines Streifens in der darauf folgenden Dotierschicht gegenüberliegt. </p>
申请公布号 EP2149921(A3) 申请公布日期 2013.07.10
申请号 EP20090100302 申请日期 2009.05.28
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 CROMME, PETER;BENES, JAN
分类号 H01L41/083 主分类号 H01L41/083
代理机构 代理人
主权项
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