一种CVD反应器电极与底座的密封结构

摘要

本实用新型涉及一种CVD反应器电极与底座的密封结构，包括底座、电极组件、第一绝缘套、第一O型密封圈、第二绝缘套以及电极锁紧螺栓，其中电极组件穿设在底座上的电极孔内，并且电极组件包括具有电极端帽和电极杆的电极本体和绝缘密封件，绝缘密封件包括套设在电极杆上的瓷环和设置于瓷环与电极端帽之间以及瓷环与底座之间的密封垫，第一绝缘套和第二绝缘套均套设在电极杆上，并且其接合处设置有第一O型密封圈，电极锁紧螺母螺纹连接于电极杆的端部并将第二绝缘套压紧。该CVD反应器电极与底座的密封结构瓷环处的密封垫构成了第一道密封，第一O型密封圈构成了第二道密封结构，因而其密封性能更加可靠，硅基气体从电极处泄露的风险大大降低。

主权项

一种CVD反应器电极与底座的密封结构，其特征在于，包括：底座（3），所述底座（3）上设置有用于电极穿入的电极孔；穿设于所述电极孔内的电极组件，所述电极组件包括电极本体和套设于所述电极本体上的绝缘密封件，所述电极本体包括电极端帽（1）和电极杆（8），所述绝缘密封件包括套设于所述电极杆（8）上且位于电极端帽（1）下端的瓷环（2），和设置于所述瓷环（2）与电极端帽（1）之间以及所述瓷环（2）与底座（3）之间的密封垫（15）；套设于所述电极杆（8）上，且上端与所述瓷环（2）相抵，下端位于所述电极孔内的第一绝缘套（14）；套设于所述电极杆（8）上，且位于所述第一绝缘套（14）下端的第一O型密封圈（4）；套设于所述电极杆（8）上，且上端与所述第一O型密封圈（4）相接触的第二绝缘套（12）；螺纹连接于所述电极杆（8）的端部且可将所述第二绝缘套（12）压紧的电极锁紧螺母。