SYSTEME MAGNETRON AVEC UNE CIBLE CREUSE.

摘要

L'invention concerne un système magnétron qui comprend une cible creuse et un système magnétique, disposé dans la cible creuse et comprenant un support d'aimants et un agencement d'aimants appliqué sur le support d'aimants, le support d'aimants comprenant au moins deux éléments de support d'aimants qui présentent respectivement au moins une cavité et respectivement au moins une surfce de contact sur le côté extérieur, lesdits au moins deux éléments de support d'aimants se touchant par leurs surfaces de contact et étant fermement reliés l'un à l'autre et les cavités des éléments de support d'aimants ne présentant aucune liaison l'une avec l'autre.