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发明名称
ALD-reaktori, menetelmä ALD-reaktorin lataamiseksi ja tuotantolinja
摘要
申请公布号
FI123539(B)
申请公布日期
2013.06.28
申请号
FI20090005126
申请日期
2009.02.09
申请人
BENEQ OY
发明人
SOININEN, PEKKA;SKARP, JARMO
分类号
C23C16/455
主分类号
C23C16/455
代理机构
代理人
主权项
地址
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