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Bekannte Vorrichtungen zur Bestrahlung eines Substrats weisen eine Aufnahme für das zu bestrahlende Substrat mit einer kreisförmigen Bestrahlungsfläche und einen ersten optischen Strahler mit mindestens einem in einer parallel zur Bestrahlungsfläche verlaufenden Beleuchtungsebene angeordneten Strahlerrohr auf. Die Beleuchtungslänge des Strahlerrohres umfasst einen Mittenabschnitt und zwei Endabschnitte, wobei die Länge des Mittenabschnittes mindestens 50% der Beleuchtungslänge ausmacht. Die Aufnahme und der optische Strahler sind relativ zueinander bewegbar. Um hiervon ausgehend eine Vorrichtung zur thermischen Behandlung eines Substrats anzugeben, die eine homogene beziehungsweise rotationssymmetrische Aufheizung des Substrats ermöglicht, und die darüber hinaus einen geringen konstruktiven und steuerungstechnischen Aufwand erfordert, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass das Strahlerrohr im Mittenabschnitt eine kontinuierlich abnehmende Krümmung aufweist, mit der Maßgabe, dass sich die Beleuchtungslänge des Strahlerrohres über einen Bogenwinkel von weniger als 2πerstreckt.
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